نطاق السفر
20 ملم
دقة
0.125 ميكرومتر
التكرار
＜1 ميكرومتر
استقامة
＜2 ميكرومتر
تماثل
＜5μm
نصب
10″(50 ميكروراد)
التثاؤب
السرعة القصوى
5 ملم/ ثانية
سعة التحميل
10 كجم
وزن
1.5 كجم
